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スクラッチ試験と 180 度曲げ試験による DLC 膜の密着性評価 …

大阪府立産業技術総合研究所報告 No.21, 2007 53 スクラッチ試験と180 度曲げ試験による DLC 膜の密着性評価法の検討 Investigation of Evaluation Methods for Adhesion of DLC

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